Представляем для скачивания и чтения книгу Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники от известного автора Светлана Козубняк.
Произведение 2013-го года.
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, wmlogs изучающих курс «Микросистемная техника».
